ULVAC愛發(fā)科  多級羅茨型干泵 LR60  LR90 LR180 LR421 LR421-T

特點

低溫區(qū)域均熱化（LR系列）

在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

氦氣密封

通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。

瞬停對策

采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控

用途

成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）

縮短備料下料室的排氣時間

作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）

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