ULVAC愛(ài)發(fā)科  多級(jí)羅茨型干泵 HR60 HR90 HR300 HR600  HR1200

特點(diǎn)

高溫區(qū)域均熱化

實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。

UR系列可比HR系列更加高溫化。

氦氣密封

通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。

瞬停對(duì)策

采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控

用途

CVD裝置

蝕刻裝置

灰化裝置

ALD、ALH 等

ULVAC愛(ài)發(fā)科  多級(jí)羅茨型干泵  HR60 HR90 HR300 HR600  HR1200

我司主打品牌明細(xì)表：

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科新寶、OKK機(jī)床、AMADA天田、MRM、新熱工業(yè)SHINNETSU、 ATAGO愛(ài)拓、ARIMITSU有光工

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設(shè)備類產(chǎn)品:ONIKAZE赤松、SHOWADENKI昭和電機(jī)、OSAWA大澤、TORAY東麗、EOLUS真空企業(yè)

株式會(huì)社、OKK大宮工業(yè)、KOTOHIRA琴平工業(yè)、REVOX萊寶克斯、SONIC索尼克、CCS光源、MASDAC隧道式烘烤爐、鈴與工業(yè)株式會(huì)社納豆生產(chǎn)設(shè)備、IKURATOOLS育良精機(jī)、ANLET安耐

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小眾產(chǎn)品：IRI軟水機(jī)、USUTANI臼谷電子點(diǎn)焊機(jī)、CNK磁性分離器、HIMU 靜音消除器、NAC油水分離器、BL DYNAMICS氣泡發(fā)生裝置、工業(yè)CT無(wú)損檢測(cè) 國(guó)產(chǎn)（可提供技術(shù)支持與方案）、hibikicorp

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