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計(jì)量校準(zhǔn)用濕度發(fā)生器兼具便攜式結(jié)構(gòu)與高精度計(jì)量性能的溫濕度校準(zhǔn)儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規(guī)溫濕度測量儀表的計(jì)量校準(zhǔn)需求。

溫濕度發(fā)生器 精密實(shí)驗(yàn)室設(shè)備高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動(dòng)小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。

標(biāo)準(zhǔn)溫濕度發(fā)生器高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動(dòng)小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。

小型濕度發(fā)生器通過改變比例閥通徑改變高壓或低壓壓力而得到不同濕度的恒濕氣源。根據(jù)道爾頓分壓定律，先使氣體在穩(wěn)定的高壓狀態(tài)下飽和，然后在相同的溫度下降壓，至穩(wěn)定的低壓狀態(tài)，即可得到恒濕氣源，其濕度值可根據(jù)飽和室溫度高壓壓力和低壓壓力而準(zhǔn)確測定。

晶圓CVD專用濕度發(fā)生器是一款兼具便攜式結(jié)構(gòu)與高精度計(jì)量性能的溫濕度校準(zhǔn)儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規(guī)溫濕度測量儀表的計(jì)量校準(zhǔn)需求。

半導(dǎo)體測試專用濕度發(fā)生器采用質(zhì)量流量計(jì)控制高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動(dòng)小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。