ULVAC愛(ài)發(fā)科  螺桿型干式真空泵  MS120A MS600A MS1200A

特點(diǎn)

通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，以防腐蝕。

采用ULVAC設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子軸，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

用途

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等

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業(yè)、SHOWASOKKI昭和測(cè)器、TOPCON拓普康、NIPPON GEAR千斤頂、Watty瓦蒂 

化學(xué)品：SHINETSU信越化學(xué)、THREEBOND三鍵、TOAGOSEI東亞合成、三井化學(xué)MITSUI、KONISHI小西

設(shè)備類產(chǎn)品:ONIKAZE赤松、SHOWADENKI昭和電機(jī)、OSAWA大澤、TORAY東麗、EOLUS真空企業(yè)

株式會(huì)社、OKK大宮工業(yè)、KOTOHIRA琴平工業(yè)、REVOX萊寶克斯、SONIC索尼克、CCS光源、MASDAC隧道式烘烤爐、鈴與工業(yè)株式會(huì)社納豆生產(chǎn)設(shè)備、IKURATOOLS育良精機(jī)、ANLET安耐

特、Kitagawa北川、YOSHIKAWA吉川鐵工、NAKAMURA中村留、SEIBU西部、KIWA紀(jì)和機(jī)械、

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小眾產(chǎn)品：IRI軟水機(jī)、USUTANI臼谷電子點(diǎn)焊機(jī)、CNK磁性分離器、HIMU 靜音消除器、NAC油水分離器、BL DYNAMICS氣泡發(fā)生裝置、工業(yè)CT無(wú)損檢測(cè) 國(guó)產(chǎn)（可提供技術(shù)支持與方案）、hibikicorp

新能源動(dòng)力電池： 日本旭精工、熊谷理機(jī)

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